Le nouveau Laboratoire CNRS L2MP (Laboratoire de Matériaux et de
Microélectronique de Provence, UMR CNRS 6137), regroupant une dizaine
d'équipes de Recherche des Universités de Marseille et de
Toulon, a été créé dans le but de développer,
en partenariat avec l'industrie, une synergie entre différentes
compétences allant de la Science des Matériaux aux Technologies
de la Microélectronique.
La création L2MP a été l'occasion d'une réorientation
d'une partie des activités de Recherche de l'équipe MMI de
Toulon vers les matériaux ferroélectriques en géométrie
confinée. Une activité centrée sur les couches minces
ferroélectriques pour application aux mémoires non volatiles
(FeRAM) est actuellement développée.
Les principaux avantages des FeRAM par rapport aux mémoires non
volatiles conventionnelles (EPROM, EEPROM, ...) incluent des temps d'accès
très courts, des tensions d'écriture faibles, une faible
consommation et un stockage de l'information à tension nulle.
L'intégration de condensateurs ferroélectriques dans des
cellules mémoires haute densité représente typiquement
un domaine technologique dans lequel l'alliance des compétences
Matériau aux compétences Microélectronique est très
intéressante.
Dans cette période de développement, la mise en place des
nouvelles thématiques s'articule autour de groupes de travail. Ainsi,
nous développons intensément une activité spécifique
couches minces. Des recherches en amont sur les matériaux ferroélectriques
sont maintenues dans l'esprit d'optimiser les propriétés
des couches minces.
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