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Technologie et matériaux
Cette session concerne les matériaux et les procédés d'élaboration des dispositifs microélectroniques. Son but est de permettre des discussions à propos des progrès récents et des futures tendances du domaine des micro et nanostructures. Les principaux points abordés sont : les matériaux, les couches minces, les techniques de dépôt et d'élaboration de motifs.
Dhanistha.Panyasak@imag.fr; modified : January 2002.
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